成膜装置
分子線エピタキシー 1号機
(Molecular beam epitaxy, MBE)
分子線エピタキシー 2号機
(Molecular beam epitaxy, MBE)
RFマグネトロンスパッタリング
(Radio frequency magnetron sputtering)
RFマグネトロンスパッタリング
(Radio frequency magnetron sputtering)
圧力勾配スパッタリング
(Pressure gradient sputtering, PGS)
抵抗加熱真空蒸着
(Resistance heating evaporation)
イオンスパッタ
(Ion sputtering)
赤外ランプ加熱アニール
(Rapid thermal annealing, RTA)
電気炉
(Electric furnace)
評価装置
フォトルミネッセンス（PL），フォトリフレクタンス（PR）測定
(PL and PR spectroscopy)
ラマン分光測定
(Raman spectroscopy)
ホール測定
(Hall measurement)
近赤外発光寿命測定
（Time-resolved photoluminescence, TR-PL）
分光光度計
(Spectrophotometer)
分光感度測定
(Spectral sensitivity)
エリプソメータ
(Ellipsometer)