九州工業大学大学院
情報工学院電子情報工学研究系
電子材料研究室

実験設備

SITE MAP
 HOME / Research  / Facilities / Members /  Album / Publications / Links / Access
    - iron disilicide        - OB members    - past photos            
© 2015-2020 TERAI Laboratory. All Rights Reserved.

 成膜装置  
 
分子線エピタキシー
(Molecular beam epitaxy, MBE)
     
     
  RFマグネトロンスパッタリング
(Radio flequency magnetron sputtering)
     
     
 抵抗加熱真空蒸着
(Resistance heating evaporation)
  イオンスパッタ
(Ion sputtering) 
     
     
赤外ランプ加熱アニール
(Rapid thermal annealing, RTA)
  電気炉
(Electric furnace)
 
     
 評価装置  
     
   
フォトルミネッセンス(PL),
フォトリフレクタンス(PR)測定
(PL and PR spectroscopy)
  ラマン分光測定
(Raman spectroscopy)
     
   
 ホール測定
(Hall measurement)
  近赤外発光寿命測定
(Time-resolved photoluminescence,
TR-PL)
     
     
 分光光度計
(Spectrophotometer)
  分光感度測定
(Spectral sensitivity)
  
     
     
  エリプソメータ(Elipsometer)
     
     
触針段差計
(Contact-type thickness meter)